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如何提高碳化硅微粉的纯度

来源:http://jiangxi.ayzxnc.com/news1071822.html发布时间:2025-06-25

      江西碳化硅微粉是指粒径细化至微米级(通常粒度范围在 0.1μm~100μm)的江西碳化硅(SiC)粉末,在制造、半导体、新能源等领域具有不可替代的作用。作为江西碳化硅微粉厂家,在加工环节,想要提高江西碳化硅微粉纯度需从原料筛选、制备工艺优化、提纯处理及环境管控等全流程入手,以下是具体技术路径及操作要点:

      一、高纯度原料筛选与预处理

      优选高纯度碳化硅块料:原料采购时要求供应商提供 ICP-MS 检测报告,重点控制 Fe、Al、Ca、Na 等金属元素。对原料进行预处理,人工挑选去除表面夹杂物(如石英砂、金属颗粒),采用超声波清洗 + 去离子水冲洗,去除表面吸附的灰尘与离子杂质。

      原料破碎阶段防污染:采用低杂质引入破碎工艺,替代传统钢球磨,改用陶瓷球磨罐 + 碳化硅磨球,减少金属磨损污染;

气流破碎优先选用碳化钨或陶瓷材质喷嘴,避免金属碎屑混入。

      二、制备工艺中的纯度控制

      粉磨与分级工艺优化:球磨时控制球料比(如 3:1),避免过度研磨导致磨球磨损加剧;气流磨采用高纯氮气保护,防止高温下 SiC 氧化生成 SiO(氧化层厚度需<2nm)。

      高精度分级设备应用:使用气流分级机 + 静电分选组合工艺,通过调节分级气流速度(如 15-25m/s)精准剔除粗颗粒杂质,同时利用静电吸附去除金属导电颗粒。

      避免工艺过程氧化:高温处理(如烧结整形)时通入氩气或氮气保护气氛,炉内氧含量<10ppm,防止 SiC 被氧化。

      三、提纯工艺

      物理提纯法:高温煅烧,在 1600-1800℃惰性气氛下煅烧,使游离碳氧化为 CO逸出,同时细化晶粒减少晶格缺陷,煅烧时间控制在 3-5h,可降低游离碳含量至 0.1% 以下。采用高梯度磁选机(磁场强度≥1.5T)去除 Fe、Ni 等磁性杂质,针对电子级微粉需进行 2-3 次多级磁选,使磁性物质含量<5ppm。

      复合提纯工艺:酸浸 + 高温煅烧联合法,先通过酸浸去除金属氧化物,再经高温煅烧去除游离碳,可使 SiC 纯度从 98.5% 提升至 99.95%,适用于磨料及导热填料。

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      四、后处理与环境管控

      清洗与干燥优化

      采用去离子水逆流洗涤,配合超声波清洗,去除表面吸附的离子杂质,洗涤次数≥5 次。在真空度<10Pa、温度 80-120℃条件下干燥,避免高温导致表面氧化,干燥时间 4-6h,确保水分含量<0.1%。

      生产车间需达到ISO 7 级无尘标准(粒径≥0.5μm 的粒子数≤352000 个 /m3),操作人员穿戴防静电无尘服,设备定期用酒精擦拭。包装采用真空铝箔袋 + 防潮剂,避免存储过程中吸潮或接触空气中的粉尘,电子级产品需在氮气氛围下完成包装。

      提升碳化硅微粉纯度需构建 “原料 - 工艺 - 提纯 - 环境” 四维控制体系:以高纯度原料为基础,通过低污染制备工艺减少杂质引入,结合化学 - 物理复合提纯技术深度除杂,在洁净环境下完成后处理与检测。不同应用场景(如电子级、磨料级、导热级)需针对性调整提纯工艺。

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